Miniature And 2 L/s VacIon Pumps - Agilent

1Istruzioni per l’usoNote di FunzionamentoOperazione di “bakeout”Quando una pompa VacIon non raggiunge la pressione basedesiderata e non ci sono perdite, è necessario eseguire un “bakeout”del sistema per eliminare il vapore acqueo. Questa operazione vieneeseguita riscaldando la pompa e tutti gli elementi del sistema.14/581Riscaldare il corpo pompa ed il sistema per mezzo di un forno oelementi riscaldanti ad una temperatura tra 150 e 250 C (250 Cè la massima temperatura sopportata da molti cavi di altatensione). Questa temperatura è abbastanza elevata in modo da“degassare” le superfici della pompa dal vapore acqueo senzadanneggiare il magnete ed il connettore dell’alta tensione.Occorre fare attenzione che gli altri componenti del sistemasopportino la temperatura di riscaldamento. Il riscaldamentodeve essere il più possibile uniforme su tutte le superfici perevitare che il vapore si ricondensi sulle parti più freddeimpedendo così il raggiungimento di valori elevati di vuoto.2Lasciare accesa l’unità di controllo e controllare che la pressionenon superi il valore di 5x10-5 Torr (mbar). Nel caso in cui sisuperi il suddetto valore, occorre spegnere il riscaldatore eriaccenderlo quando si è ripristinata la bassa pressione. Percontrollare i riscaldatori ed i valori di pressione in modoautomatico durante il riscaldamento, occorre utilizzare un relèsensibile alla pressione.3Riscaldare la pompa VacIon per almeno 8 ore. Periodi più lunghidi riscaldamento sono necessari quando la pompa deve essereusata con carichi di gas pesanti, o quando si desiderano valori divuoto ultra alti (10-9 Torr [mbar]) o inferiori.4A mano a mano che la pompa ed il sistema ritornano allatemperatura ambiente, si deve osservare un abbassamento dellapressione.5Tra le varie applicazioni delle pompe ioniche c’è anche lapossibilità del loro impiego per processare sotto vuoto altricomponenti. Poichè il passante di alta tensione può sopportareun numero limitato di cicli di riscaldamento (fino a 400 C), siraccomanda di limitare tali cicli al minimo possibile, peraumentare la durata di vita della pompa stessa.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

1Istruzioni per l’usoCondizioni di Funzionamento AnomaleCondizioni di Funzionamento AnomaleBassa correnteSe il valore di corrente letto è inferiore a quello normale per queldato valore di pressione (vedere il diagramma precedente), la scaricasi potrebbe essere fermata.Per verificare se la scarica si è fermata, rimuovere il magnete edosservare la corrente residua. Se la corrente non cambia con e senzail magnete, non è in corso alcuna scarica nella pompa.aPer riavviare la scarica, colpire il corpo pompa con un attrezzo diplastica morbida, o riscaldarlo localmente con un piccolosaldatore. In questo modo si libera del gas dalla superficieall’interno della pompa e la scarica dovrebbe riprendere. NONCOLPIRE MAI la pompa con un attrezzo metallico.bSe il campo magnetico scende sotto il suo valore di targa, lascarica della pompa e la velocità si ridurranno e la scaricapotrebbe spegnersi ad una pressione inferiore a 1x10-7 Torr.Alta correnteSe il valore di corrente letto è superiore a quello normale per queldato valore di pressione (vedere il diagramma precedente),controllare quanto segue:aChe il cavo dell’alta tensione non sia in corto circuito. Riparare osostituire.bChe non ci sia una dispersione all’interno dell’unità di controllo.Riparare secondo quanto indicato sul relativo manuale.cChe non ci sia un corto circuito sugli isolatori di supportodell’anodo causato da frammenti di film di Titanio. Colpire lapompa come descritto al passo a) del paragrafo precedentepotrebbe porre rimedio a questa situazione.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)15/58

1Istruzioni per l’usoCondizioni di Funzionamento Anomale16/58dChe non ci sia una emissione di corrente da “punte” che si sianoformate sui catodi. Applicare alla pompa una tensione tra 5 e 6kV ac con una corrente tra 20 e 30 mA tra 5 e 20 secondi perbruciare le “punte”.eChe non ci siano rivestimenti di film metallici conduttori sugliisolatori a causa di un funzionamento sopra i 10 -2 Torr per elevatiperiodi di tempo. Poiché non è possibile smontare la pompa,questa condizione è causa di una limitazione del tempo di vitadella pompa. Evitare di usare la pompa ad alte pressioni perlunghi periodi.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

1Istruzioni per l’usoSmaltimentoSmaltimentoSignificato del logo "WEEE" presente sulle etichette.Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alladirettiva CE denominata "WEEE".Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea)indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltitoinsieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essereavviato ad un sistema di raccolta differenziata.Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore deldispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare ilprocesso di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica deitermini e condizioni contrattuali di vendita.Per maggiori informazioni riferirsi .shtmlMiniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)17/58

1Istruzioni per l’usoSmaltimento18/58Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual2GebrauchsanleitungSicherheitshinweise 20Allgemeine Hinweise 21Installation23Anschluss des ngen27Stromstärke zu niedrig27Stromstärke zu hoch27Entsorgung2429Übersetzung der Originalanleitungen19/58

inweiseDieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch bestimmt. Vor demGebrauch soll der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren vonAgilent mitgelieferten Zusatzinformationen genau lesen. Beivollständiger bzw. teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenenHinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,nicht autorisierten Eingriffen und Benutzung unter Missachtung dereinschlägigen nationalen Bestimmungen übernimmt Firma Agilentkeinerlei Haftung.In diesem Handbuch werden bestimmte Textstellen wie folgthervorgehoben:VORSICHT!Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen darauf aufmerksam,dass bei Nichteinhaltung Schäden am Gerät entstehen können.WARNUNG!Die Warnhinweise richten die Aufmerksamkeit auf eine spezielle Prozeduroder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Personenschäden zurFolge haben könnte.HINWEIS20/58Die HINWEISE enthalten wichtige Informationen, die aus dem Texthervorgehoben werden.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

2GebrauchsanleitungAllgemeine HinweiseAllgemeine HinweiseDiese Anweisungen enthalten Grundinformationen zur Installationund zum Gebrauch von Vaclon Pumpen Mod. Miniature und 2 l/s.In der Tabelle werden die erhältlichen Modelle aufgeführt:Tab. 1MODELLP/NMiniaturMit Rohr in Kupfer 180 913-0037Mit Rohr in Kupfer 90 913-0040Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 180 913-0038Mit Rohr in Edelstahl 3/8” OD 90 913-0041Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 180 , mit Vorvakuum913-0049Mit Rohr in Kupfer 3/8” OD 90 , mit Vorvakuum913-0050Magnet in Alnico913-00422 l/sMit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180 913-0032Mit Rohr in Kover-glass 3/4" OD913-0034Mit Rohr in Kupfer 3/4” OD 180 , mit Vorvakuum913-0035Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 180 , mit Vorvakuum913-0045Mit Rohr in Edelstahl 3/4” OD 90 T-Anschluss913-0046Mit Kurzer Rohr in Edelstahl 3/4” OD913-0047Mit Rohr in OFHC Kupfer 3/4” OD913-0052Mit Flansch 1 1/3” CF 180 , mit Vorvakuum913-5000Magnet in Alnico913-0011Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)21/58

2GebrauchsanleitungAllgemeine HinweiseDas komplette Pumpsystem umfasst die Vaclon Pumpe, derenMagneten und ein Netzgerät. Diese Vaclon Pumpen arbeiten nachdem Getterprinzip im Bereich von 10-3 Torr bis unter 10-9 Torr. Umdas System auf unter 10-3 Torr zu bringen, ist eine Vorvakuumpumpeerforderlich.Die Pumpe ist mit einer Plusspannung von 3.000 - 3.500 Volt (imoffenen Schaltkreis) zu versorgen. Die Versorgungsspannung und dievom Netzgerät gelieferte Kurzschlussspannung sollen derStromaufnahme der Pumpe bei ihrem maximalen Arbeitsdruckentsprechen.22/58Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

2GebrauchsanleitungInstallationInstallationBei der Installation sind die Pumpe und das System sauber zu halten.Die Berührung von Oberflächen, die unter Vakuum sein werden, istzu vermeiden. Bei geöffnetem Zustand der Pumpe ist darauf zuachten, dass keine Schmutzpartikel, Öl, Lötflussmittel oder flüchtigeSubstanzen eindringen. Vor Anschluss der Pumpe ist das Systemgründlich zu reinigen. Eine Reinigung des Vakuumsystems mitchemischen Produkten wäre hierbei die beste Methode; sie sollteallerdings nicht bei Vorhandensein von Hohlräumen und Spaltenangewendet werden, die das Ausspülen verhindern.In der Regel ist das Entfetten mit Aceton oder Methanol und dasanschließende Spülen mit Wasser ausreichend.Um eine maximale Pumpgeschwindigkeit zu erzielen, ist die Pumpeüber eine möglichst kurze und breite Leitung an das Systemanzuschließen.Für den Höchstvakuumbetrieb sollen die Verbindungen mit Inertgasgeschweißt (WIG) und wasserstoff- oder vakuumgelötet sein.Die Dichtungen im System sollen aus Weichmetall wie geglühtesKupfer, Aluminium oder Gold sein.Nachdem die Pumpe im System versiegelt wurde, ist das gesamteSystem auf Leckstellen zu überprüfen.Den Magneten an den hierfür vorgesehenen Bügel der Pumpe mit denmitgelieferten Schrauben befestigen.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)23/58

2GebrauchsanleitungInstallationAnschluss des ControllersWARNUNG!Die Spannungen, die vom Controller erzeugt und von Vaclon Pumpen genutztwerden, sind potenziell tödlich. Um die Sicherheitsbedingungen beimArbeiten zu gewährleisten, ist sicherzustellen, dass der Masseanschlussvorschriftsgemäß ausgeführt ist.Den Controller wie folgt an die Pumpe anschließen:24/581Die Pumpe an den Masseanschluss des Netzgerätes anschließen,wobei die Masseanschlussfeder am Hochspannungsverbinder derPumpe anzubringen ist, bevor das Hochspannungskabelangeschlossen wird. Bei den Kabeln, die mit einem Masseleiterversehen sind, ist der Masseleiter an einen Masseanschlusspunktdes Systems anzuschließen.2Das Netzgerät wird über sein Versorgungskabel an die Masseangeschlossen. Damit der Stromkreis vollständig an die Masseangeschlossen ist, muss der dreipolige Stecker desVersorgungskabels an eine geerdete Steckdose angeschlossensein. Es dürfen keine Adaptersteckdosen verwendet werden, diekeine Schließung des Erdungskreises zulassen.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

lon Pumpen arbeiten durch Gasionisierung infolge einermagnetisch abgegrenzten Entladung (Penning-Zelle). An die Anodewird eine Spannung von ungefähr 3 kV angelegt, während dieKatoden an die Masse angeschlossen sind. Ein axiales Magnetfeld vonungefähr 1.200 Gauss verhindert, dass die Elektronen direkt zurAnode gelangen. Ein abgeschirmter Isolator isoliert die Anode vomErdungspotenzial. Bei ordnungsgemäßem Betrieb der Vaclon Pumpe(mit dem installierten Magnet) ist die Stromaufnahme proportionalzum Druck (siehe nachstehende Abbildung).Abbildung 1Druck-Stromstärke-DiagrammNachdem das System einen Druck unter 10-2 Torr erreicht hat, ist esmöglich, die Pumpe lediglich durch Einschalten des Controllers zustarten. Der Pumpenstart ist anhand der Stromaufnahme durch denController erkenntlich.HINWEISBevor das Kabel des Netzgerätes abgetrennt wird, sind stets mindestens 30 snach Abschaltung der Hochspannung abzuwarten, damit sich der Kondensatordes Netzgerätes entsprechend entladen kann.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)25/58

2GebrauchsanleitungFunktionsweiseBakeoutWenn eine VacIon Pumpe den gewünschten Basisdruck nicht erreichtund keine Druckverluste vorhanden sind, ist ein Bakeout desSystems aus-zuführen, um den Wasserdampf zu beseitigen. DieserVorgang erfolgt unter Erwärmung der Pumpe und allerSystemelemente.26/581Den Pumpenkorpus und das System mit ei-nem Ofen oderHeizelementen auf eine Temperatur zwischen 150 und 250 Cerhitzen (250 C ist die maximal zulässige Temperatur vielerHochspannungskabel). Diese Temperatur ist ausreichend, um dieOberflächen der Pumpe von Wasserdampf zu “entgasen”, ohneden Magneten oder den Hochspannungsverbinder zubeschädigen. Es ist darauf zu achten, dass die anderenSystemkomponenten der Erwärmungstemperatur standhalten.Die Erwärmung soll möglichst gleichmäßig auf allen Oberflächenerfolgen, damit der Dampf nicht an den kälteren Teilenkondensiert und das Erreichen hoher Vakuumwerte verhindert.2Den Controller eingeschaltet lassen und kontrollieren, dass derDruck nicht 5x10-5 Torr (mbar) übersteigt. Falls dieser Wertüberschritten wird, ist das Heizgerät auszuschalten und erneuteinzuschalten, wenn der Unterdruckbereich wieder hergestelltist. Zur automatischen Kontrolle der Heizgeräte und Druckwertewährend der Erwärmung ist ein druckempfindliches Relais zubenutzen.3Die Vaclon Pumpe über einen Zeitraum von mindestens 8Stunden erwärmen. Längere Erwärmzeiten sind erforderlich,wenn die Pumpe mit hohen Gaslasten benutzt werden soll oderHöchstvakuumwerte (10-9 Torr [mbar]) oder niedriger erreichtwerden sollen.4Im Zuge der Abkühlung der Pumpe und des Systems auf dieUmgebungstemperatur muss auch ein Druckabfall entstehen.5Zu den verschiedenen Einsatzmöglichkeiten der Ionenpumpenzählt auch die Vakuumerzeugung in anderen Komponenten. DaHochspannungsverbinder nur einer begrenzten Anzahl vonErwärmungszyklen (bis zu 400 C) standhalten, sollten dieseZyklen auf ein Mindestmaß beschränkt werden, um die Standzeitder Pumpe zu verlängern.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

ungenStromstärke zu niedrigWenn die angezeigte Stromstärke unter dem Normwert für denbetreffenden Druck liegt (siehe vorhergehendes Diagramm), könntedie Entladung gestoppt sein.Um zu überprüfen, ob die Entladung gestoppt ist, ist der Magnet zuentfernen und die Reststromstärke zu beobachten. Wenn dieStromstärke sich weder mit noch ohne Magneten verändert, findetkeine Pumpenentladung statt.aZur erneuten Entladungsaktivierung, ist mit einem weichenKunststoffwerkzeug gegen den Pumpenkorpus zu schlagen oderder Pumpenkorpus lokal mit einem kleinen Schweißgerät zuerhitzen. Auf diese Weise löst sich Gas von den Innenflächen derPumpe und müsste die Entladung wieder aufgenommen werden.Gegen die Pumpe darf NIEMALS mit einem metallenen WerkzeugGESCHLAGEN werden.bWenn das Magnetfeld unter den Kennschildwert sinkt, verringernsich die Pumpenentladung und -geschwindigkeit, hierbei könntedie Entladung bei einem Druck unter 1x10-7 Torr aussetzen.Stromstärke zu hochWenn die angezeigte Stromstärke über dem Normwert für denbetreffenden Druck liegt (siehe vorhergehendes Diagramm), sindfolgende Kontrollen auszuführen:aDas Hochspannungskabel darf nicht kurzgeschlossen sein.Reparieren oder auswechseln.bIm Controller darf kein Leckstrom vorhanden sein. Gemäß derAngaben aus dem diesbezüglichen Handbuch reparieren.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)27/58

2GebrauchsanleitungBetriebsstörungen28/58cAn den Hilfsisolatoren der Anode darf kein Kurzschluss durchTitanfolienteile anliegen. Wie unter Schritt a) desvorhergehenden Abschnitts gegen die Pumpe schlagen, was dieses Problem beheben könnte.dEs darf keine Stromabgabe durch “Spitzen” erfolgen, die sich anden Katoden gebildet haben. An die Pumpe eine Spannungzwischen 5 und 6 kV ac mit einer Stromstärke zwischen 20 und30 mA über einen Zeitraum von 5 und 20 s anlegen, um die“Spitzen” abzubrennen.eAn den Isolatoren dürfen keine Metallfilmbeläge vorhanden sein,die infolge eines längeren Betriebs bei einem Druck über 10 -2 Torrentstehen. Da die Pumpe nicht demontiert werden kann, bewirktdies eine kürzere Standzeit des Gerätes. Die längerfristigeBenutzung der Pumpen bei hohen Drücken ist zu vermeiden.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

2GebrauchsanleitungEntsorgungEntsorgungBedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten.Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EURichtlinieWEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht.Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass dasbetreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgtwerden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführtwerden muss.Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. dieMuttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um denEntsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungengeprüft hat.Für weitere roduct/index.shtmlMiniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F)29/58

2GebrauchsanleitungEntsorgung30/58Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual3Mode d’emploiInformations sur la Sécurité32Indications Générales 33Installation35Branchement de l'unité de contrôleNotes de Fonctionnement3637Opération de “bakeout” 38Conditions de Fonctionnement Anormales 39Courant faible 39Courant élevé 39Mise au Rebut41Traduction de la mode d’emploi originale31/58

3Mode d’emploiInformations sur la SécuritéInformations sur la SécuritéCet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle.Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette noticed'instructions ainsi que toute autre indication fournie par Agilentavant d'utiliser l'appareil. Agilent décline par conséquent touteresponsabilité en cas de non-respect total ou partiel des instructionsfournies, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé,d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire auxréglementations nationales spécifiques.Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:ATTENTION!Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le nonrespect peut endommager sérieusement l'appareillage.AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur uneprocédure ou une manœuvre spéciale dont la mauvaise exécution risque deprovoquer de graves lésions au personnel.NOTE32/58Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte.Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual 87-400-044-01 (F)

3Mode d’emploiIndications GénéralesIndications GénéralesCes instructions contiennent des informations de base pourl'installation et l'utilisation des pompes miniature et 2 l/s Vaclon.Le tableau ci-dessous énumère les modèles disponibles :Tab. 1MODÈLEP/NMiniatureAvec tuyau en cuivre 180 913-0037Avec tuyau en cuivre 90 913-0040Avec tuyau en acier inoxydable de 3/

Miniature and 2 l/s VacIon Pumps User Manual / 87-400-044-01 (F) 11/58 Installazione Durante l’installazione, mantenere la pompa ed il sistema puliti. Evitare di toccare le superfici che saranno sotto vuoto. Quando la pompa è ap